[发明专利]压力检测系统有效
| 申请号： | 202011414407.0 | 申请日： | 2020-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN114603474B | 公开（公告）日： | 2023-06-09 |
| 发明（设计）人： | 张正先 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;B24B37/005;B24B37/34;B24B37/11;B24B49/00 |
| 代理公司： | 上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260 | 代理人： | 成丽杰 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明实施例提供一种压力检测系统，包括：研磨手臂与受力层，所述受力层用于承受所述研磨手臂的压力；基底和多个弹性体，多个所述弹性体固定于所述受力层和所述基底之间；形变传感器，用于检测所述弹性体的形变量；分析装置，用于根据所述形变传感器的检测结果以及所述弹性体的弹性系数获取所述受力层承受的压力。本发明实施例有利于检测研磨手臂施加于受力层的压力的均衡性。 | ||
| 搜索关键词： | 压力 检测 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于长鑫存储技术有限公司，未经长鑫存储技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011414407.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
