[发明专利]一种基于薄膜型光栅的光麦克风结构在审
| 申请号： | 202011415031.5 | 申请日： | 2020-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN112556822A | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 陈瑶;丁颖;苏向斌;倪海桥;陈鹏;赵涛 | 申请（专利权）人： | 南京信光半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01H9/00 | 分类号： | G01H9/00 |
| 代理公司： | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人： | 鲍敬 |
| 地址： | 210001 江苏省南京市秦淮区中山*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于薄膜型光栅的光麦克风结构，包括激光器、薄膜光栅、光电探测器，所述激光器设置于薄膜光栅一侧并向薄膜光栅提供光源，所述光电探测器设置于薄膜光栅另一侧用于接收激光器光源通过薄膜光栅后的衍射图样，本发明将传统光麦克风的振动薄膜与衍射光栅相结合，利用薄膜有效形变影响光栅进而导致衍射光的变化，根据衍射光的变化计算出声波的振动情况，本发明结构比传统光麦克更加简单，计算声波幅度和频率的方法更为简便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 薄膜 光栅 麦克风 结构 | ||
【主权项】：
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