[发明专利]缺陷扫描机台的自动监控系统及方法在审
| 申请号： | 202011421066.X | 申请日： | 2020-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN112666311A | 公开（公告）日： | 2021-04-16 |
| 发明（设计）人： | 郭明;龚丹莉;邵雄 | 申请（专利权）人： | 上海华力集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00;G01R35/00 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 栾美洁 |
| 地址： | 201315 上海市浦东新区自*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种缺陷扫描机台的自动监控方法及系统，其用于监控在线缺陷扫描的所有缺陷扫描机台，其中：获取所有缺陷扫描机台的缺陷扫描信息；获取用户设置的查询条件，并根据用户设置的查询条件对所述缺陷扫描信息进行监控；筛选出满足所述查询条件的所述缺陷扫描信息对应的缺陷扫描机台；对筛选出的所述缺陷扫描信息进行统计汇总，确定对应的所述缺陷扫描机台的扫描率信息；根据所述扫描率信息判断所述缺陷扫描机台的运行状态，并根据各缺陷扫描机台的运行状态决定是否触发警报。本发明可以实现缺陷扫描机台的全覆盖监控，自动统计机台的扫描率，便于依据不同的扫描情况及时发现存在潜在风险问题的机台，对机台的扫描状况进行预警。 | ||
| 搜索关键词： | 缺陷 扫描 机台 自动 监控 系统 方法 | ||
【主权项】：
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