[发明专利]辨别非（100）面氧化镓晶体有无孪晶的HRXRD测试方法有效
| 申请号： | 202011426046.1 | 申请日： | 2020-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN112444529B | 公开（公告）日： | 2023-02-17 |
| 发明（设计）人： | 张胜男;王健;霍晓青;庞越;王新月;高彦昭;李轶男;徐世海 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十六研究所 |
| 主分类号： | G01N23/207 | 分类号： | G01N23/207 |
| 代理公司： | 天津中环专利商标代理有限公司 12105 | 代理人： | 杨舒文 |
| 地址： | 300220*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 一种辨别非（100）面氧化镓晶体有无孪晶的HRXRD测试方法，将非（100）面氧化镓晶体放置在设备样品台上；将入射狭缝宽度设为10mm~13mm；将2θ设定为31.738°对应晶面为（002）；将样品从0°旋转至90°，旋转步长设定为0.1°~0.3°，记录（002）面衍射峰个数，样品台复位，然后以原点为中心在X‑Y平面上旋转180°，再以[010]晶向为轴将样品从0°旋转至90°，旋转步长设定为0.1°~0.3°，记录（002）面衍射峰个数；如果上述过程中，只探测到1个（002）面衍射峰，则判定测试区域内无孪晶，若探测到多个（002）面衍射峰，则判定测试区域内有孪晶；提高了效率、降低了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 辨别 100 氧化 晶体 有无 hrxrd 测试 方法 | ||
【主权项】：
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