[发明专利]一种真空溅射缝隙测量装置

摘要

本发明公开了一种真空溅射缝隙测量装置，涉及真空溅射技术领域，为解决现有的测量工具不能够根据使用环境的变化灵活调节，导致测量的精准度较差的问题。所述工作台的一侧设置有活动板，所述工作台的上端设置有测量装置，所述测量装置上端的中间位置处安装有滑轨，所述滑轨的外部安装有调节外壳，且调节外壳与滑轨滑动连接，所述调节外壳靠近活动板的一端固定设置有位移机构，所述位移机构的一侧安装有红外测距传感器，所述测量装置的一侧固定设置有水平机构，所述工作台下端的四角处均设置有底座，所述测量装置一侧的上端设置有刻度标。