[发明专利]驱动结构及芯片检测设备在审
申请号: | 202011429285.2 | 申请日: | 2020-12-09 |
公开(公告)号: | CN112630619A | 公开(公告)日: | 2021-04-09 |
发明(设计)人: | 陈秋龙;阳香仁;张晋;刘东成 | 申请(专利权)人: | 深圳市盛世智能装备有限公司 |
主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28;G01R1/02;G01R1/04 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 谢岳鹏 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区石岩街道石*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种驱动结构。驱动结构包括第三底座、移动平台、第一驱动件和第二驱动件,移动平台用于承载芯片,第一驱动件的壳体位于所述第三底座上,第二驱动件的壳体位于第一驱动件的输出端上,移动平台位于第二驱动件的输出端上,第一驱动件用于驱动移动平台围绕移动平台的轴线转动,第二驱动件用于改变移动平台的高度。由于第二驱动件位于第一驱动件的输出端上,第二驱动件的输出端上的负载可以被有效的降低,当需要改变移动平台的高度时,第二驱动件可以高速移动,以快速地调整移动平台的高度。 | ||
搜索关键词: | 驱动 结构 芯片 检测 设备 | ||
【主权项】:
暂无信息
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