[发明专利]一种用于硅片清洗的花篮晃动装置有效
| 申请号： | 202011443136.1 | 申请日： | 2020-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN112427392B | 公开（公告）日： | 2022-04-08 |
| 发明（设计）人： | 许玉雷 | 申请（专利权）人： | 江西舜源电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/10 | 分类号： | B08B3/10;B08B3/08;B08B13/00;H01L21/673 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 337000 江西省萍乡*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于硅片清洗的花篮晃动装置，包括外壳，所述外壳的内部底面固定安装有电机，且电机的输出端卡接安装有转动轴。有益效果：本发明通过全角度晃动板，当电机开始工作时，带动转动轴和支撑杆做同步运动，由于球头与全角度晃动板之间摩擦力较大，因此旋转的支撑杆带动全角度晃动板同步旋转，旋转的全角度晃动板会使两组抵触头发生碰撞，全角度晃动板纵向晃动，此时四组伸缩弹簧会发生形变，四组伸缩弹簧带动全角度晃动板进行复位，当两组抵触头再次发生碰撞，使全角度晃动板继续纵向旋转晃动，重复旋转使用时，全角度晃动板始终带动花篮晃动，通过设置的全角度晃动板，可配合使用一组电机，完成花篮的全角度晃动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 硅片 清洗 花篮 晃动 装置 | ||
【主权项】：
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