[发明专利]一种多用途的掩膜式光面光刻机在审
| 申请号： | 202011443221.8 | 申请日： | 2020-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN112558425A | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 刘烽 | 申请（专利权）人： | 江西舜源电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 337000 江西省萍乡*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多用途的掩膜式光面光刻机，包括光刻台和伺服移动台，所述光刻台顶面安装有伺服移动台，且伺服移动台顶面安装有晶圆放置板。有益效果：本发明通过转动第二手柄螺栓压住菲林片来固定菲林片，避免菲林片过薄而引起放置不稳定的情况，固定完成后，可向外转动第一手柄螺栓，带动第二滑块向外移动，从而带动捻锁伸缩杆向外移动，进而带动外杆向外移动，从而带动弹簧伸长，拉扯内杆，进而拉扯菲林片四角，完成张拉，避免菲林片出现褶皱弯曲的现象，提高菲林片的平整性，从而提高透光的均匀性，提高使用菲林片时的光刻效率，固定框中也可放入玻璃的四角，完成对玻璃的固定，从而使本装置适合使用菲林片和玻璃片，提高使用的多功能性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多用途 掩膜式 光面 光刻 | ||
【主权项】：
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