[发明专利]一种等离子干法去胶的热盘装置及其使用方法

摘要

本发明涉及等离子去胶机技术领域，具体公开了一种等离子干法去胶的热盘装置；包括工艺腔体，工艺腔体中固定设置有加热盘体，加热盘体的前后侧面开设有T形插入槽位于每个T形插入槽内侧的加热盘体中均开设有电阻加热棒贯穿槽；位于T形插入槽上下方的加热盘体侧面上均匀开设有若干第一螺纹孔，T形插入槽中设置有与T形插入槽相配合的T形电阻棒固定块，T形电阻棒固定块的外端上下两侧均开设有与每个第一螺纹孔相对应的第一通孔，第一通孔中设置有与第一螺纹孔相螺接的固定螺栓；本发明公开的加热盘中的加热器固定采用可拆卸设计，损坏后可单独更换，大大降低了维护和生产成本，同时其双工位的设计可同时满足两片产品片的工艺温度需求。