[发明专利]水听器及其制造方法有效
| 申请号： | 202011446222.8 | 申请日： | 2020-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN112697262B | 公开（公告）日： | 2023-06-27 |
| 发明（设计）人： | 张永平;曾怀望 | 申请（专利权）人： | 联合微电子中心有限责任公司 |
| 主分类号： | G01H11/08 | 分类号： | G01H11/08 |
| 代理公司： | 北京市汉坤律师事务所 11602 | 代理人： | 初媛媛;吴丽丽 |
| 地址： | 401332 重庆*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本公开提供一种水听器及其制造方法。该水声器包括：水声感应薄膜，被配置为感应施加到水声感应薄膜的第一表面上的水声压力；压电薄膜，位于水声感应薄膜的第二表面上，第二表面与第一表面相对；声表面波谐振器，位于压电薄膜的背离水声感应薄膜的表面上；以及正面密封结构，位于压电薄膜的背离水声感应薄膜的表面上，正面密封结构形成容纳声表面波谐振器的空腔并密封声表面波谐振器。 | ||
| 搜索关键词： | 水听器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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