[发明专利]微位移装置及方法、光路调节设备及微位移装置的应用在审
| 申请号： | 202011451504.7 | 申请日： | 2020-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN112558263A | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 屈俊健 | 申请（专利权）人： | 上海精测半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G02B7/00 | 分类号： | G02B7/00 |
| 代理公司： | 苏州友佳知识产权代理事务所(普通合伙) 32351 | 代理人： | 陈德霞 |
| 地址： | 201700 上海市青浦区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种微位移装置及方法、光路调节设备及微位移装置的应用，其中，微位移装置包括侧部形成一开口的壳体；容置于所述壳体内的移动件，且所述移动件与所述壳体之间滑动连接；以及，驱动机构，所述壳体形成有供所述驱动机构伸入至壳体中空腔室内以与所述移动件连接的限位槽，所述驱动机构配置成驱动所述移动件沿所述限位槽内沿的第一方向移动或第二方向移动。本发明解决现有技术中微位移平台体积较大而无法安装到空间高度有限的应用场景中的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 位移 装置 方法 调节 设备 应用 | ||
【主权项】：
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