[发明专利]粘合片在审
申请号: | 202011459875.X | 申请日: | 2020-12-11 |
公开(公告)号: | CN113150706A | 公开(公告)日: | 2021-07-23 |
发明(设计)人: | 小坂尚史;龟井胜利;河野广希 | 申请(专利权)人: | 日东电工株式会社 |
主分类号: | C09J7/25 | 分类号: | C09J7/25;C09J7/30;C09J133/08;C09J11/08 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 唐峥 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明的课题在于提供有助于提高剥离后的表面的洁净性的粘合片。可提供一种粘合片,其包含构成粘合面的粘合剂层,利用下式算出的清洁度为20%以上。清洁度=1‑(B/A),此处,上述式中的B为将粘合片从SiN晶片进行水剥离后的该SiN晶片的表面的碳量B[原子%]。上述式中的A为贴附上述粘合片之前的上述SiN晶片的表面的碳量A[原子%]。 | ||
搜索关键词: | 粘合 | ||
【主权项】:
暂无信息
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