[发明专利]一种电致变色复合膜系中氧化钨层的制备方法有效
| 申请号： | 202011462996.X | 申请日： | 2020-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN112626459B | 公开（公告）日： | 2023-02-17 |
| 发明（设计）人： | 沈洪雪;汤永康;王天齐;金克武 | 申请（专利权）人： | 中建材玻璃新材料研究院集团有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/35 |
| 代理公司： | 安徽省蚌埠博源专利商标事务所(普通合伙) 34113 | 代理人： | 陈俊 |
| 地址： | 233010 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： |
本发明公开一种电致变色复合膜系中氧化钨层的制备方法，包括以下步骤：S1、选用电阻率为20欧姆的ITO镀膜玻璃作为为衬底；S2、将衬底装入样品架，送入磁控溅射镀膜腔室中；S3、对磁控溅射镀膜腔室抽真空，使真空度达到8.0*10 |
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| 搜索关键词： | 一种 变色 复合 膜系中 氧化钨 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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