[发明专利]探针卡的维护校正方法在审
| 申请号： | 202011464380.6 | 申请日： | 2020-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN112649628A | 公开（公告）日： | 2021-04-13 |
| 发明（设计）人： | 杨启毅;李旭东;武浩;韩斌 | 申请（专利权）人： | 华虹半导体（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 郭四华 |
| 地址： | 214028 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种探针卡的维护校正方法，包括：步骤一、采用标准探针卡和标准校验片进行基准点校正；步骤二、将标准校验片放置在所述第一基准点位置，将标准校验片的各针位进行具有第一放大倍数的放大投影形成位于投影面上的放大针位，对各放大针位进行标记；步骤三、将待校正探针卡放置在第二基准点位置，采用第二放大倍数对待校正探针卡的探针的针尖进行投影并形成放大针尖；步骤四、根据各放大针尖和对应的放大针位的偏离值进行待校正探针卡的探针的校正，使校正后的放大针尖和对应的放大针位的位置相匹配。本发明能降低探针卡的探针校正难度，提高操作窗口，减少对维护人员的训练要求和操作难度。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 维护 校正 方法 | ||
【主权项】：
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