[发明专利]一种半导体级硅单晶炉坩埚起吊装置及硅单晶炉有效
| 申请号： | 202011470690.9 | 申请日： | 2020-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN112575370B | 公开（公告）日： | 2022-07-08 |
| 发明（设计）人： | 姜宏伟;郭志强;郑锴 | 申请（专利权）人： | 南京晶能半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 张弛 |
| 地址： | 210046 江苏省南京*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种半导体级硅单晶炉坩埚起吊装置及硅单晶炉。该起吊装置通过向下延伸的第三连杆围绕于坩埚托盘四周，且通过挂钩承载坩埚托盘并提拉出。第三连杆的打开与闭合操作均通过位于支架上的第一、第二连杆及十字转盘带动，第一、第二连杆及十字转盘不占用炉内空间，且能够较准确的控制第三连杆开合的角度，避免触碰炉壁。该坩埚起吊装置对炉内空间的占用很少，专用于硅单晶炉内坩埚与炉壁间隙较小的环境中。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 级硅单晶炉 坩埚 起吊 装置 硅单晶炉 | ||
【主权项】：
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