[发明专利]一种晶圆上镀银添加剂的制备方法在审

专利信息
申请号: 202011472019.8 申请日: 2020-12-14
公开(公告)号: CN112593263A 公开(公告)日: 2021-04-02
发明(设计)人: 涂利彬;肖广源 申请(专利权)人: 上海华友金裕微电子有限公司
主分类号: C25D3/46 分类号: C25D3/46;C25D7/12
代理公司: 常州市科谊专利代理事务所 32225 代理人: 孙彬
地址: 201700 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种晶圆上镀银添加剂的制备方法,该制备方法包括以下步骤:准备原料、取适量的二甲基海因,按质量比在搅拌槽中加入纯水进行搅拌;按质量比加入一定量的表面活性剂、充分搅拌;搅拌好的溶液经过滤芯进行过滤,得到低温镀银添加剂;对低温镀银添加剂成品进行封装储藏;本发明中晶圆上镀银添加剂的制备方法,该制备方法避免了镀银使用过程中分解的气体对人体伤害,达到环保要求,本添加剂使用方便,可在10‑30℃正常电镀,工艺简单,反应稳定,生产效率高,配完电镀液就可以进行电镀,本产品电镀出的制品在空气中不发生氧化,本产品电镀出的制品纯镀高、结晶细。
搜索关键词: 一种 晶圆上 镀银 添加剂 制备 方法
【主权项】:
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