[发明专利]一种晶圆上镀银添加剂的制备方法在审
申请号: | 202011472019.8 | 申请日: | 2020-12-14 |
公开(公告)号: | CN112593263A | 公开(公告)日: | 2021-04-02 |
发明(设计)人: | 涂利彬;肖广源 | 申请(专利权)人: | 上海华友金裕微电子有限公司 |
主分类号: | C25D3/46 | 分类号: | C25D3/46;C25D7/12 |
代理公司: | 常州市科谊专利代理事务所 32225 | 代理人: | 孙彬 |
地址: | 201700 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种晶圆上镀银添加剂的制备方法,该制备方法包括以下步骤:准备原料、取适量的二甲基海因,按质量比在搅拌槽中加入纯水进行搅拌;按质量比加入一定量的表面活性剂、充分搅拌;搅拌好的溶液经过滤芯进行过滤,得到低温镀银添加剂;对低温镀银添加剂成品进行封装储藏;本发明中晶圆上镀银添加剂的制备方法,该制备方法避免了镀银使用过程中分解的气体对人体伤害,达到环保要求,本添加剂使用方便,可在10‑30℃正常电镀,工艺简单,反应稳定,生产效率高,配完电镀液就可以进行电镀,本产品电镀出的制品在空气中不发生氧化,本产品电镀出的制品纯镀高、结晶细。 | ||
搜索关键词: | 一种 晶圆上 镀银 添加剂 制备 方法 | ||
【主权项】:
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