[发明专利]薄膜晶体管及其制造方法、显示面板和显示装置在审
| 申请号： | 202011476386.5 | 申请日： | 2020-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN112599606A | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 黄奔;袁宾;王丽娟;万康;冯兵明 | 申请（专利权）人： | 合肥维信诺科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L21/336;H01L29/06;H01L29/417 |
| 代理公司： | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人： | 杜萌 |
| 地址： | 230000 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本公开实施例提供一种薄膜晶体管及其制造方法、显示面板和显示设备，由于制备过程中先采用湿法刻蚀栅极金属层形成包括具有坡面的边缘区域的栅极过渡图案，利用栅极过渡图案进行第一次离子注入掺杂后再通过干法刻蚀去除坡面，然后再执行第二次离子注入掺杂形成重掺杂源漏区和轻掺杂源漏区，避免了现有技术中仅依靠图案化光刻胶进行重掺杂源漏区和轻掺杂源漏区制备，而图案化光刻胶存在曝光偏差导致的沟道两侧轻掺杂源漏区宽度不一致，进而薄膜晶体管的电学特性不良的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜晶体管 及其 制造 方法 显示 面板 显示装置 | ||
【主权项】：
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