[发明专利]用于检查大型样本的断层摄影装置在审
| 申请号： | 202011480852.7 | 申请日： | 2020-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN112986184A | 公开（公告）日： | 2021-06-18 |
| 发明（设计）人： | 刘大源;成治侐;李庸珍 | 申请（专利权）人： | 株式会社湖碧驰 |
| 主分类号： | G01N21/45 | 分类号： | G01N21/45;G01N21/17;G01N21/88;G01B9/02 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 金鲜英;张敬强 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开一种断层摄影装置，其能够非破坏性地检查用于平板电脑的显示器、用于车辆的仪表板等大型样本的表面和内部。所述断层摄影装置包括：两个以上的光干涉断层摄影部(30、40)，其在样本(5)的线扫描方向上依次配置并对样本(5)进行断层摄影，并且配置为在所述线扫描方向上使各个光干涉断层摄影部(30、40)的线扫描区域部分地重叠；驱动部(32、42)，其调节各个所述光干涉断层摄影部(30、40)的高度，以使各个光干涉断层摄影部(30、40)从样本(5)的检查面隔开规定距离；以及样本安装部(50)，其安装样本(5)，并且用于向不同于线扫描方向的方向移送所安装的样本(5)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 检查 大型 样本 断层 摄影 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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