[发明专利]炉管工艺的派工优化方法

摘要

本发明提供了一种炉管工艺的派工优化方法，包括：对所有晶圆按照机台允许存放的位置的不同进行分组；采集和预测晶圆到达炉管站点的时间；根据晶圆的分组信息，生成第一批次晶圆内的所有晶圆的派工方案，以形成方案池；依次生成每一批次晶圆的方案池，每一批次晶圆的方案池都基于上一批次的方案池所生成，当某一批次晶圆具有两种或两种以上相同的派工方案时，保留优势派工方案，淘汰劣势派工方案，被淘汰的派工方案不能参与下一批次晶圆的方案池的形成；对所有批次晶圆进行方案池生成和派工方案淘汰，最后保留一个派工方案。本发明可以减少人工派工时间，减少因人工失误导致晶圆派工出错的几率，并且可以提高机台使用效率。