[发明专利]晶圆监控结构及监控方法有效
| 申请号： | 202011487055.1 | 申请日： | 2020-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN112687663B | 公开（公告）日： | 2023-03-14 |
| 发明（设计）人： | 李诗豪;王咏梅;马党辉 | 申请（专利权）人： | 深圳市紫光同创电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;H01L21/66 |
| 代理公司： | 深圳国新南方知识产权代理有限公司 44374 | 代理人： | 周雷 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区粤海*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种晶圆监控结构，用于晶圆制造过程中的监控，所述晶圆监控结构包括N个MOS管，其中N≥17，N为奇数；N个所述MOS管从左到右依次连接；N个所述MOS管的源极并联连接形成第一源极，N个所述MOS管的漏极并联连接形成第一漏极，N个所述MOS管的栅极并联连接形成第一栅极，位于第(N+1)/2位的所述MOS管的衬底单独引出形成第一衬底，其余所述MOS管的衬底并联形成第二衬底。该晶圆监控结构兼容了目前传统的单MOS管器件的测试监控方法，且增加了测试结果的准确性，更能表征晶圆的芯片内的同类器件的平均性能，更准确地排查不合格的晶圆。 | ||
| 搜索关键词： | 监控 结构 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市紫光同创电子有限公司，未经深圳市紫光同创电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011487055.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
