[发明专利]抛光液供给装置有效
| 申请号： | 202011489844.9 | 申请日： | 2020-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN112658991B | 公开（公告）日： | 2022-12-13 |
| 发明（设计）人： | 李昀泽 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02;B24B51/00;G01S17/04 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;张博 |
| 地址： | 710000 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种抛光液供给装置，属于半导体技术领域。抛光液供给装置，包括：第一容器，用以盛放二氧化硅溶液；第二容器，用以盛放有机聚合物溶液；透光的第三容器，用以盛放有机聚合物溶液与二氧化硅溶液的混合液；所述第一容器的出液口、所述第二容器的出液口分别与所述第三容器的进液口连通，所述第一容器的出液口与所述第三容器的进液口之间设置有过滤器；所述第三容器的外壁设置有激光雷达传感器，用以检测所述第三容器的内壁是否存在颗粒物。本发明能够避免硅片表面被划伤。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 供给 装置 | ||
【主权项】：
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