[发明专利]控制电路、脉冲电源系统和半导体加工设备在审
| 申请号： | 202011494405.7 | 申请日： | 2020-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN113013007A | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 韦刚 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/248 | 分类号： | H01J37/248;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;王婷 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供的控制电路、脉冲电源系统和半导体加工设备，该控制电路包括开关电路，其第一端和第二端作为直流信号的输入端，第三端和第四端作为脉冲信号的输出端，第一控制端和第二控制端用于接收第一信号和第二信号以控制脉冲信号的输出，在第一控制端和第二控制端接收第一信号时，第三端和第四端输出脉冲信号；在第一控制端和第二控制端接收第二信号时，第三端和第四端停止输出脉冲信号；还包括储能模块，其两端分别与开关电路的第一端和第二端连接，用于在开关电路不输出脉冲信号时，存储开关电路中的剩余电能。本发明实施例提供的控制电路，减小电压在每个脉冲结束时产生的震荡，提高对半导体工艺中等离子的能量和密度的控制精度。 | ||
| 搜索关键词： | 控制电路 脉冲 电源 系统 半导体 加工 设备 | ||
【主权项】：
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