[发明专利]一种通过磁控溅射镀膜机提高不同金属膜间结合力的方法在审
| 申请号： | 202011502529.5 | 申请日： | 2020-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN112647053A | 公开（公告）日： | 2021-04-13 |
| 发明（设计）人： | 周东平 | 申请（专利权）人： | 镇江晶鼎光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/02;C23C14/20 |
| 代理公司： | 苏州市方略专利代理事务所(普通合伙) 32267 | 代理人： | 李瑞清 |
| 地址： | 212000 江苏省镇江市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种通过磁控溅射镀膜机提高不同金属膜间结合力的方法，属于磁控溅射镀膜技术领域，包括如下加工步骤：（1）将基材表面清洗干净，烘干，置于磁控溅射镀膜机内；（2）设定好磁控溅射镀膜机的真空度、功率，以满功率状态在基材上对金属A溅射到所需厚度；（3）再采用满功率的50%状态对金属A溅射t1时间，对金属B溅射t2时间；（4）再用满功率的30%对金属A溅射t3时间，采用满功率的70%对金属B溅射t4时间；（5）再用满功率状态对金属B溅射到所需厚度；（6）溅射结束后自然冷却到室温，即可取出产品。该种方法通过磁控溅射镀膜机在两种金属膜层之间增加多层过渡层，可提高金属膜层之间的结合力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 通过 磁控溅射 镀膜 提高 不同 金属膜 结合 方法 | ||
【主权项】：
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