[发明专利]单晶炉的除尘过滤系统及其控制方法、单晶炉组件在审
| 申请号： | 202011508798.2 | 申请日： | 2020-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN112619306A | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 王建军;汪佳;王磊;黄保强;王晓明;张理杰 | 申请（专利权）人： | 徐州晶睿半导体装备科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D46/00 | 分类号： | B01D46/00;C30B15/00 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 周慧云 |
| 地址： | 221004 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种单晶炉的除尘过滤系统，包括除尘装置、储气装置、第一真空装置和第二真空装置，除尘装置为多个，每个除尘装置上设有第一进气管路，第一进气管路适于与单晶炉的排气口连通，储气装置上设有出气管路，每个除尘装置分别通过出气管路与储气装置连通，出气管路上设有第二开关阀，第一真空装置上设有第一真空管路，每个除尘装置分别通过第一真空管路与第一真空装置连通，第二真空装置上设有第二真空管路，每个除尘装置分别通过第二真空管路与第二真空装置连通。根据本发明的单晶炉的除尘过滤系统，便于实现对除尘装置的除尘处理，有效避免除尘装置堵塞，且不影响单晶炉的长晶过程。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶炉 除尘 过滤 系统 及其 控制 方法 组件 | ||
【主权项】：
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