[发明专利]一种碳化硅微管检测装置及方法在审
| 申请号： | 202011510804.8 | 申请日： | 2020-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN112666166A | 公开（公告）日： | 2021-04-16 |
| 发明（设计）人： | 黄英俊;马军 | 申请（专利权）人： | 宁波谦视智能科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/95 |
| 代理公司： | 北京知呱呱知识产权代理有限公司 11577 | 代理人： | 丁彦峰 |
| 地址： | 315412 浙江省宁波市余姚市三七*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种碳化硅微管检测装及方法置，所述装置包括：相机成像装置、光源控制器、起偏器和验偏器，通过光源控制器控制不同的光源经过半反射镜偏折后，通过起偏器和验偏器后照射被测物，生成不同的图像，所述相机成像装置采集图像，判断被测物是否存在瑕疵。本发明解决了现有碳化硅微管质量检测效果不佳，导致良品率低的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 微管 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
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