[发明专利]一种显影装置在审
| 申请号： | 202011513308.8 | 申请日： | 2020-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN112612188A | 公开（公告）日： | 2021-04-06 |
| 发明（设计）人： | 闫鹏;江奇纮;叶光尧 | 申请（专利权）人： | 泉芯集成电路制造(济南)有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 张洋 |
| 地址： | 250000 山东省济南市*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种显影装置，涉及光刻胶显影技术领域。显影装置包括喷嘴、载物台、与载物台驱动连接的旋转驱动机构和与喷嘴驱动连接的直线驱动机构，载物台用于承载芯片，喷嘴设置在载物台上方，喷嘴上设有至少两个出液孔，出液孔用于朝向载物台表面喷吐显影液，旋转驱动机构的旋转输出端与载物台的中心转动连接，用于驱动载物台水平转动，直线驱动机构用于驱动喷嘴沿经过载物台中心的直线方向往复运动。上述显影装置通过多孔式喷嘴的设计并配合喷嘴和载物台的运动，不仅使待显影芯片表面达到线宽的高度一致性，提高了芯片的良品率，还能够适应多种尺寸的芯片，具有较高的普适性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 显影 装置 | ||
【主权项】：
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