[发明专利]一种Mini LED晶圆正反面外观缺陷检测方法及装置有效
| 申请号： | 202011513335.5 | 申请日： | 2020-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN112255245B | 公开（公告）日： | 2021-04-27 |
| 发明（设计）人： | 付金宝;王巧彬;苏达顺;徐武建 | 申请（专利权）人： | 惠州高视科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/01 |
| 代理公司： | 惠州市超越知识产权代理事务所(普通合伙) 44349 | 代理人： | 陈文福 |
| 地址： | 516000 广东省惠州市惠澳大道惠南高*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种Mini LED晶圆正反面外观缺陷检测方法及装置，所述方法包括正面工位检测，通过标记点定位正面缺陷的位置，将正面缺陷和正面缺陷的位置信息合并至Mini LED晶圆信息文档中、背面工位检测，通过标记点位置定位背面缺陷的位置，将背面缺陷和背面缺陷的位置信息合并至Mini LED晶圆信息文档中，分选机根据Mini LED晶圆信息文档判断晶圆是否合格并分选。本文提出的Mini LED晶圆正反面缺陷检测方法及装置，解决了Mini LED晶圆背面缺陷检测中的定位问题，让正反面的检测信息结合在一起，完成Mini LED正反面的缺陷检测，大大提高了Mini LED外观缺陷检出率、准确率及效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mini led 正反面 外观 缺陷 检测 方法 装置 | ||
【主权项】：
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