[发明专利]一种监控光刻机遮光片开口精度的标记及其使用方法

摘要

本发明提供一种监控光刻机遮光片开口精度的标记及其使用方法，设有图形区域和遮光带的光罩；遮光带环绕于图形区域的四周；设置于遮光带内外边缘的标记；光刻机上的遮光片，遮光片将图形区域束缚其中用于控制光罩透光开口的大小；遮光带外边缘与图形区域的距离为光刻机台的精度规格L；精度规则L的范围为：M≤L≤N；位于遮光带的内边缘的标记与图形区域之间的距离为M/2；位于遮光带的所述外边缘的所述标记与图形区域之间的距离为N+100μm。本发明通过在遮光带上增加套刻精度标记，可以在线时时监控，节省了人力和机时；有效地防止了遮光片开口过大或者过小导致的产品漏光或者过遮光情况；通过系统量测抓取，实现了自动化处理。