[发明专利]测试机台及测试方法在审
| 申请号： | 202011519537.0 | 申请日： | 2020-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN114646781A | 公开（公告）日： | 2022-06-21 |
| 发明（设计）人： | 吕康;熊阳;胡健 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/04 | 分类号： | G01R1/04;G01R31/00 |
| 代理公司： | 上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260 | 代理人： | 成丽杰 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明实施例提供一种测试机台及测试方法，测试机台包括：多组焊垫组和多个源测量单元，每一所述焊垫组具有一应力焊垫，所述应力焊垫用于连接待测元件，所述源测量单元用于通过所述应力焊垫向所述待测元件发送输入信号并测量所述待测元件的输出信号，以获取所述待测元件的性能参数；其中，至少两组所述焊垫组的应力焊垫可同时与对应的所述源测量单元连接。本发明实施例有利于提高测试效率。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 机台 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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