[发明专利]探测设备、采用探测设备检测晶圆的方法和测试系统在审
| 申请号： | 202011522310.1 | 申请日： | 2020-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN112731096A | 公开（公告）日： | 2021-04-30 |
| 发明（设计）人： | 石恒志;刘刚 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 霍文娟 |
| 地址： | 430074 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种探测设备、采用探测设备检测晶圆的方法和测试系统，该探测设备包括探针卡和旋转件，探针卡包括探针卡本体和位于探针卡本体上的多个探针；旋转件用于带动探针卡旋转。探测设备保证了晶圆的第一方向测试完成后，通过旋转件带动带动探针卡旋转，然后对晶圆的第二方向进行测试，测试完成前无需晶圆出机台，也无需人工调整晶圆的位置，解决了现有技术中晶圆WAT测试过程中，晶圆需要2次进出测试机台，导致测试效率较低的问题，该探测设备保证了晶圆的测试效率较高，保证了机台的产能较高，并且，该探测设备解决了现有的人工调整晶圆位置的问题，保证了设备的自动化水平较高，节省了人力成本。 | ||
| 搜索关键词： | 探测 设备 采用 检测 方法 测试 系统 | ||
【主权项】：
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