[发明专利]一种电子半导体加工用清洗装置在审
| 申请号： | 202011525945.7 | 申请日： | 2020-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN112893302A | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 黄晓波 | 申请（专利权）人： | 江西龙芯微科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B1/00;B08B1/02;B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 337016 江西*** | 国省代码： | 江西;36 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种电子半导体加工用清洗装置，包括兆声波清洗壳体，兆声波清洗壳体的底部设有周期性振动的弹性振动板；弹性振动板活动盖设于兆声波清洗壳体的底部；兆声波清洗壳体的外侧设有兆声波共振腔换能器；还包括清洗液存储装置，电磁脉冲振动器，清洗管路组件，驱动部件，振动组件，对弹性振动板产生周期性振动；并配合电磁脉冲振动器、兆声波共振腔换能器实现对电子半导体高效率清洗；使得半导体材料冲洗的更加干净，清洗更加更加彻底，提高清洗效率和效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子 半导体 工用 清洗 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江西龙芯微科技有限公司，未经江西龙芯微科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011525945.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
