[发明专利]一种光刻胶清洗剂组合物

摘要

一种光刻胶清洗剂组合物，其属于精细化工技术领域。该组合物包括有机碱、烷醇胺、二醇醚化合物、缓蚀剂和润湿剂。有机碱的含量决定着光刻胶的清洗能力，二醇醚化合物的加入能有效地提升季铵盐氢氧化物的溶解度。碳酸酯类化合物能有效的将光刻胶溶胀和软化，加入润湿剂后能吸附在光刻胶表面,促进溶剂和有机碱分子向膜内渗透，并且能将已经溶胀的光刻胶分散在光刻胶剥离剂中。该组合物还采用了复配型缓蚀剂，有机膦类缓蚀剂能螯合剥离剂中的金属离子，并且会沉积到金属表面形成保护膜；而糖醇类缓蚀剂的多羟基能在金属和非金属基材上形成化合键，防止金属及基材不受剥离剂腐蚀。两种缓蚀剂还会产生协同作用，提升保护能力。