[发明专利]一种易粘附易去除光刻胶在审
| 申请号： | 202011537041.6 | 申请日： | 2020-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN112650022A | 公开（公告）日： | 2021-04-13 |
| 发明（设计）人： | 徐娟;周建;王猛 | 申请（专利权）人： | 阜阳申邦新材料技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004 |
| 代理公司： | 合肥金律专利代理事务所(普通合伙) 34184 | 代理人： | 杨霞 |
| 地址： | 236400 安徽省阜阳市临泉县邢塘街*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种易粘附易去除光刻胶，其原料按重量份包括：成膜树脂15‑20份、光致产酸剂5‑7份、改性二氧化钛3‑4份、硅烷偶联剂1‑3份、溶剂70‑80份；其中，成膜树脂包括成膜树脂1和成膜树脂2；成膜树脂1为对羟基苯乙烯和丙烯酸叔丁酯的共聚物，成膜树脂2为聚4‑叔丁氧酰氧基苯乙烯，其中，成膜树脂1的重均分子量为6000‑8000；成膜树脂2的重均分子量为80000‑90000。本发明选用不同树脂和二氧化钛相互配合，使得本发明具有良好的粘附性能，且容易去除。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 粘附 去除 光刻 | ||
【主权项】：
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