[发明专利]一种光电元器件加工用离子注入装置在审
| 申请号： | 202011542394.5 | 申请日： | 2020-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN112670150A | 公开（公告）日： | 2021-04-16 |
| 发明（设计）人： | 吴坤宝 | 申请（专利权）人： | 马鞍山市胜康精密机电有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/02;H01J37/20;H01L31/18;H01L33/00 |
| 代理公司： | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人： | 徐佳慧 |
| 地址： | 243100 安徽省马鞍*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光电元器件加工用离子注入装置，涉及光电元器件加工技术领域。该光电元器件加工用离子注入装置，包括工作台，所述工作台的上表面固定连接有密封箱体与真空泵，所述密封箱体与真空泵之间通过管道组件连接，所述工作台的下表面固定连接有安装壳体，所述安装壳体的内部固定安装有伺服电机。本发明，通过主驱动轴带着上安装座、中安装座与下安装座同步转动，当上安装座转动时带着多个离子喷头转动，当中安装座转动时带着多个放置板转动，同时，由于固定齿环与转动齿轮啮合，使得多个放置板在绕着主驱动轴转动的同时，放置板自身也会发生自转，离子注入更加均匀，从而就提高了离子注入的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光电 元器件 工用 离子 注入 装置 | ||
【主权项】：
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