[发明专利]一种镁掺杂氧化锌磁控溅射靶材及其制备方法在审
| 申请号： | 202011549209.5 | 申请日： | 2020-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN112725752A | 公开（公告）日： | 2021-04-30 |
| 发明（设计）人： | 杨晔;程奕;兰品军;宋伟杰;朱永明 | 申请（专利权）人： | 宁波森利电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/08 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 胡红娟 |
| 地址： | 315172 浙江省宁*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： |
本发明涉及光电材料技术领域，公开一种镁掺杂氧化锌磁控溅射靶材及其制备方法，其制备方法，包括步骤：(1)向氧化锌粉体中掺杂氧化镁粉体和第三氧化物粉体，混合后与乙醇溶液混合形成浆料；(2)将浆料球磨后干燥，过筛，得到成型用粉体；(3)将粉体冷等静压形成坯体；(4)将坯体慢速升温至900～1150℃，保温30～90min，再快速升温至烧结温度1300～1450℃，保温120～480min，慢速降温形成半成品；经切割、打磨，得到所述镁掺杂氧化锌磁控溅射靶材。该靶材的致密度高，相对密度大于95％以上，同时电阻率较低可达4×10 |
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| 搜索关键词： | 一种 掺杂 氧化锌 磁控溅射 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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