[发明专利]半导体清洗设备及其机械臂在审
| 申请号： | 202011559407.X | 申请日： | 2020-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN112775984A | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 闫亮 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B25J11/00 | 分类号： | B25J11/00;B25J15/00;B25J19/00;B25J9/16;H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;王婷 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请实施例提供了一种半导体清洗设备及其机械臂。该机械臂包括：可移动箱体，该箱体包括在其移动方向上相对设置的第一侧壁和第二侧壁，以及与第一侧壁和第二侧壁相邻的第三侧壁，第一侧壁和第二侧壁可在外力作用下发生形变，第三侧壁上开设有缺口；位于箱体内的基板组件，其与第一侧壁和第二侧壁活动连接，且贴近缺口设置，基板组件能在第一侧壁和/或第二侧壁发生形变时相对于箱体移动，基板组件的内侧面用于安装机械手臂组件，基板组件的外侧面用于封闭缺口；设置于第三侧壁的外侧面及基板组件的外侧面上的检测组件，用于在检测到相对运动时，使箱体停止移动。本申请实施例提供的机械臂检测面积较大，大幅提高了安全性能。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 清洗 设备 及其 机械 | ||
【主权项】：
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