[发明专利]一种靶材再生处理及粘靶方法有效
| 申请号： | 202011562033.7 | 申请日： | 2020-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN112831763B | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 胡超川;朱磊;何涛;张继凡 | 申请（专利权）人： | 安徽立光电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 合肥英特力知识产权代理事务所(普通合伙) 34189 | 代理人： | 李伟 |
| 地址： | 239299 安徽省滁州*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种靶材再生处理及粘靶方法，具体步骤依次为：冷校正、金属化、线切割、靶材除油、靶材粘接、热校正和靶面整理。本发明的有益效果在于：利用泊重量具对铜板进行校正，提高了铜板的平整度；ITO平面靶材使用后利用线切割机切割，一分为二，调换位置再生使用，二次使用后再切割后拼接使用第三次，使得靶材的利用率提升了3倍；粘靶时，通过高温下带铟打磨靶材及铜背板，使铟与之融合，提升了粘靶牢固性；通过耐高温胶布、塞尺、600目砂纸、专用间隙片、抛光片，有效隔离了铟并去除了残留铟。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 再生 处理 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于安徽立光电子材料股份有限公司，未经安徽立光电子材料股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011562033.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种用于生产铜杆的轧压机组
- 下一篇：后装式的冷幕防火门窗系统
- 同类专利
- 专利分类
