[发明专利]薄膜晶体管的制作方法和显示装置有效
| 申请号： | 202011566630.7 | 申请日： | 2020-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN112635553B | 公开（公告）日： | 2022-09-16 |
| 发明（设计）人： | 龚岩芬;龚政;胡诗犇;陈志涛;潘章旭;王建太;郭婵;庞超;刘久澄 | 申请（专利权）人： | 广东省科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | H01L29/423 | 分类号： | H01L29/423;H01L29/49;H01L29/786;H01L21/34;H01L27/12 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 严诚 |
| 地址： | 510651 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种薄膜晶体管的制作方法和显示装置，涉及半导体领域。本申请提供的制作方法，通过在金属层上形成图形化的光刻胶。然后对去除了光刻胶的非遮挡区的金属层进行离子注入，增加非遮挡区中与遮挡区相邻的位置处的金属层的耐腐蚀性。这样使得后续进行腐蚀后，最终剩余的金属层所形成栅极的边缘具有平缓的斜坡，与基板的接触角比较小。在后续铺设栅极绝缘层之后，栅极绝缘层在铺设时厚度比较均匀，栅极的边缘与源极或者漏极之间不容易形成薄弱区域，从而降低了被击穿的风险，因此提高了薄膜晶体管的稳定性和寿命。显示装置包括了上述制作方法制得的薄膜晶体管，因此也具有性能稳定、寿命长的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜晶体管 制作方法 显示装置 | ||
【主权项】：
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