[发明专利]薄膜沉积掩模组件及使用其制造有机发光显示面板的方法在审
| 申请号： | 202011581938.9 | 申请日： | 2020-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN113122798A | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 李世镛;李贤京 | 申请（专利权）人： | 乐金显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/12;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 杜诚;姚文杰 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了薄膜沉积掩模组件及使用其制造有机发光显示面板的方法。第一掩模包括布置在奇数列中的多个第一开口和布置在偶数列中的多个第二开口。多个第二开口中的布置在第n个偶数列中的单个第二开口被布置在多个第一开口中的在与垂直于列方向的行方向对应的第一方向上布设并且布置在第(n‑1)个列和第(n+1)个列中的至少一列中的两个第一开口之间，其中n是等于或者大于2的自然数。防止了第一掩模下垂。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 沉积 模组 使用 制造 有机 发光 显示 面板 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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