[发明专利]一种沉积装置及系统

摘要

本发明提供了一种沉积装置及系统，包括：多个喷射组件、与所述喷射组件电气连接的电源模块、以及可移动配置在所述喷射组件下方用于放置衬底的载台；其中，每一所述喷射组件包括沿第一方向排列的第一喷射源、隔离组件、解离喷射源；所述第一喷射源；用于喷射金属化合物；所述解离喷射源；用于喷射等离子体气体；所述隔离组件；配置在所述第一喷射源和所述解离喷射源之间，用于分隔所述第一喷射源和所述解离喷射源。解决了现有空间原子沉积系统沉积的薄膜质量差、速率低的问题。