[发明专利]一种坩埚盖及坩埚在审
申请号: | 202011586764.5 | 申请日: | 2020-12-28 |
公开(公告)号: | CN114686819A | 公开(公告)日: | 2022-07-01 |
发明(设计)人: | 罗顺松 | 申请(专利权)人: | TCL科技集团股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/26 | 分类号: | C23C14/26 |
代理公司: | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 | 代理人: | 徐凯凯 |
地址: | 516006 广东省惠州市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开一种坩埚盖及坩埚,其中,所述坩埚盖包括坩埚盖本体以及设置在所述坩埚盖本体上的加热棒组件。本发明通过在所述坩埚盖本体上设置有加热棒组件,所述坩埚盖在坩埚加热时,所述加热棒组件也一并加热,由于所述加热棒组件可插入粉体材料中,使得位于坩埚内中心的粉体材料也能与加热源充分接触,从而提高了粉体材料的受热面积,使其受热更加均匀稳定;并且所述加热棒组件还可将所述坩埚盖本体一并加热,有效避免粉体材料在升华过程中冷凝堵孔;进一步地,所述加热棒组件作为热源后,提高了粉体材料的加热效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 坩埚 | ||
【主权项】:
暂无信息
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