[发明专利]一种氮化镓半导体生产用的洁净厂房在审
| 申请号： | 202011587330.7 | 申请日： | 2020-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN112843918A | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 鲁煜;王祎;刘玉良;姜经理;谭大胜 | 申请（专利权）人： | 浙江中电环境科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D46/12 | 分类号： | B01D46/12;B01D46/00 |
| 代理公司： | 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 | 代理人： | 王家蕾 |
| 地址： | 314000 浙江省嘉兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种氮化镓半导体生产用的洁净厂房，包括厂房主体、净化空调系统、更衣室、净化箱、毛刷和第二过滤网，所述厂房主体内部的底端安装有净化空调系统，所述厂房主体一端的侧壁安装有更衣室，所述更衣室的顶端安装有底座，且底座的顶端安装有净化箱，所述净化箱的一端侧壁安装有进气管，且进气管远离净化箱的一端与更衣室的顶端相连接，所述净化箱远离进气管的一端侧壁安装有排气管，且排气管远离进气管的一端与更衣室的顶端相连接。该氮化镓半导体生产用的洁净厂房，通过挤压铰接杆进行往复左右移动，从而使挤压板可以带动保护垫来对第二过滤网进行挤压固定，从而便于操作人员对第二过滤网进行安装和拆卸。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氮化 半导体 生产 洁净 厂房 | ||
【主权项】：
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