[发明专利]一种自动监控等离子清洗系统有效

专利信息
申请号: 202011596280.9 申请日: 2020-12-29
公开(公告)号: CN112756336B 公开(公告)日: 2022-12-13
发明(设计)人: 陈益群;陈泓翰;顾汉玉 申请(专利权)人: 宁波群芯微电子股份有限公司
主分类号: B08B7/00 分类号: B08B7/00;B08B13/00;G01V3/00
代理公司: 深圳市道勤知酷知识产权代理事务所(普通合伙) 44439 代理人: 李兰兰
地址: 315000 浙江省宁波市*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明涉及一种自动监控等离子清洗系统,包括:等离子清洗装置、料盒、湿敏电阻、输出检测装置、阻抗转换装置和阻抗转换装置;等离子清洗装置用于对材料表面进行去污处理;料盒用于放置待清洗的LED支架;湿敏电阻设于料盒上;输出检测装置用于监测湿敏电阻的阻值变化,输出检测装置与湿敏电阻电性连接;阻抗转换装置电性连接于湿敏电阻与输出检测装置之间进行阻抗转换;连锁装置用于根据输出检测装置对湿敏电阻的阻值判断进行对后续加工设备供电或断电,连锁装置电性连接于输出检测装置与后续加工设备之间;上述清洗系统既可以监控等离子清洗是否对LED支架进行有效清洗,又可以清洗后的LED支架到后续加工设备进行下一步加工的时间进行有效管控。
搜索关键词: 一种 自动 监控 等离子 清洗 系统
【主权项】:
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