[发明专利]一种电源芯片制造用晶圆晶粒针刺检测装置及制造工艺

摘要

本发明涉及晶圆针刺检测装置技术领域，公开了一种电源芯片制造用晶圆晶粒针刺检测装置及制造工艺，通过向一侧拉动拉盘，使得其中一个U型夹具向一侧移动，将待检测晶圆用镊子等夹具防止于两个U型夹具之间，缓慢松开拉盘，在定位栓的导向作用及夹紧弹簧的作用下，使得待检测晶圆被夹紧在两个U型夹具之间，从而完成便捷夹持，方便后续对晶圆进行针刺检测测试，启动气泵，通过两个驱动管的设置，使得气泵带动两个启动滑动杆进行收缩与伸长，通过检测臂及检测针头的设置，使得检测针头对准待检测晶粒进行电气测试，通过气动伸缩杆的长度可调，实现对同一中心线上的晶粒进行便捷检测。(检测臂内的检测机构与检测针头之间电性连接)。