[发明专利]一种掩膜版金属框传送模块有效
| 申请号： | 202011599253.7 | 申请日： | 2020-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN112684672B | 公开（公告）日： | 2022-07-01 |
| 发明（设计）人： | 钱超;余洋;植启东;黄斌 | 申请（专利权）人： | 南京深光科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 南京行高知识产权代理有限公司 32404 | 代理人： | 肖念 |
| 地址： | 210038 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于掩膜版技术领域，尤其是涉及一种掩膜版金属框传送模块，包括掩膜版金属框托盘，掩膜版金属框托盘的两端边缘处均设有多个缺口，掩膜版金属框托盘的四角处分别设有第一滑槽，第一滑槽内滑动连接有与之相匹配的第一滑块，嵌槽设置于缺口之间，嵌槽内设有稳定机构，述掩膜版金属框托盘的侧边固定连接有L形支撑杆，L形支撑杆上竖直设有第二滑槽，第二滑槽内滑动连接有与之相匹配的第二滑块，第二滑块与稳定机构固定连接。优点在于：本发明可使得掩膜版金属框在进行传输的过程中不直接与输送轨道相接触，并且还可更好的克服运动时的惯性摩擦，从而保证掩膜版金属框的表面规整干净，没有划痕，降低了刮伤的风险。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜版 金属 传送 模块 | ||
【主权项】：
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