[发明专利]一种射频开关的加工工艺在审
| 申请号： | 202011611716.7 | 申请日： | 2020-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN112645280A | 公开（公告）日： | 2021-04-13 |
| 发明（设计）人： | 向小健;郑泉水 | 申请（专利权）人： | 深圳清华大学研究院;清华大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81C3/00;H01H1/00 |
| 代理公司： | 深圳市惠邦知识产权代理事务所 44271 | 代理人： | 满群 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种射频开关的加工工艺，包括如下步骤：提供基底、转移滑动部件、设置固定胶层、弹性件成形和释放弹性件，朝向原子级平整面上设置固定胶层，固定胶层覆盖原子级平整面和滑动部件；在固定胶层上刻蚀形成用于形成弹性件的凹槽，并朝向凹槽内填充弹性件材料，形成弹性件；去除固定胶层并释放弹性件。本发明提供的射频开关的加工工艺，能够加工出带有弹性件的射频开关，弹性件位于滑动部件的一侧，能够对滑动部件的移动进行限定，避免出现滑动速度过快产生冲击和碰撞的问题，且弹性件的生产和加工过程均不会破坏基底的表面平整度，在射频开关中使得滑动部件与弹性件之间可以构成简单的弹簧‑质量振子系统。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 射频 开关 加工 工艺 | ||
【主权项】：
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