[发明专利]控制个别夹具电流的电镀装置在审
| 申请号： | 202011613110.7 | 申请日： | 2020-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN113862760A | 公开（公告）日： | 2021-12-31 |
| 发明（设计）人： | 裴民守 | 申请（专利权）人： | 韩国耐奥匹艾姆西股份有限公司;裴民守 |
| 主分类号： | C25D19/00 | 分类号： | C25D19/00;C25D17/00;C25D17/06;C25D21/12 |
| 代理公司： | 深圳市诺正鑫泽知识产权代理有限公司 44689 | 代理人： | 罗华;林国友 |
| 地址： | 韩国京畿道安山市檀*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提出一种控制个别夹具电流的电镀装置，包括：连续电镀生产线，其具备第1阳极；分步电镀生产线，其配置于所述连续电镀生产线的后方，并具备第2阳极；控制部，其调整应用到所述第1阳极和第2阳极的电流值，使形成于所述基板的最终电镀厚度保持均匀，所述连续电镀生产线在所述基板被移动的状态下实施电镀，所述分步电镀生产线在所述基板被停止的状态下实施电镀，所述控制部在所述连续电镀生产线的整个区段，使应用到所述第1阳极的电流值保持恒定，而在所述分步电镀生产线，则使所述连续电镀生产线所移送夹具被停止的状态下，分夹具调整对应于夹具的第2阳极应用的电流值，以使形成于所述基板的最终电镀厚度保持均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 控制 个别 夹具 电流 电镀 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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