[发明专利]一种硅料的清洗方法有效
| 申请号： | 202011613503.8 | 申请日： | 2020-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN112808683B | 公开（公告）日： | 2022-06-10 |
| 发明（设计）人： | 钱诚;夏振;杨洋 | 申请（专利权）人： | 江苏亚电科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/02;B08B3/10;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京商专润文专利代理事务所(普通合伙) 11317 | 代理人： | 陈平 |
| 地址： | 225300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硅料的清洗方法，使用的装置包括驱动机构、用于带动硅料上下移动浸入酸液中的升降机构、机座，所述驱动机构位于所述机座上侧，所述升降机构位于所述机座顶部，还包括清洗机构、联动机构和喷淋机构。本发明通过第二齿圈来带动酸洗筒逆时针转动，同时通过第一齿圈来带动清洗筒进行顺时针转动，从而间接的提高了酸洗液流过清洗筒内的硅料表面的速度，继而来提高清洗效率，利用隔膜泵来将酸洗筒内的酸液泵送到U型管内，利用喷淋管上的喷头来将酸液冲刷到清洗筒内的硅料上，从而可以彻底的对硅料外侧进行冲刷清洗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 清洗 方法 | ||
【主权项】：
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