[发明专利]基于炬管竖直的电感耦合等离子体质谱仪及其工作方法在审

专利信息
申请号: 202011616686.9 申请日: 2020-12-31
公开(公告)号: CN112750678A 公开(公告)日: 2021-05-04
发明(设计)人: 陈悠;俞晓峰;杨凯;尹伊君;金振弘;徐岳;李锐;李精博;韩双来 申请(专利权)人: 杭州谱育科技发展有限公司
主分类号: H01J49/04 分类号: H01J49/04;H01J49/02;H01J49/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 311305 浙江省杭州市*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明提供了基于炬管竖直的电感耦合等离子体质谱仪及其工作方法,所述质谱仪包括炬管、采样锥和真空腔;腔室具有侧门以及位置相对的第一侧壁和第二侧壁,所述第一侧壁和第二侧壁分别具有导轨,所述导轨具有限位件;所述炬管竖直地设置在所述腔室内;散热模块上固定所述采样锥,所述炬管处于所述采样锥的下侧;承载件的相对的两侧处于所述导轨上,所述散热模块设置在所述承载件上;所述承载件的上侧与所述真空腔连接并密封;所述导轨的延伸方向与所述采样锥的中心轴线垂直;滑动件的两端处于所述导轨上,所述承载件可转动地固定在所述滑动件上,转轴垂直于所述滑动件。本发明具有工作性能好等优点。
搜索关键词: 基于 竖直 电感 耦合 等离子体 质谱仪 及其 工作 方法
【主权项】:
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