[发明专利]一种半导体加工用清洗装置在审
| 申请号： | 202011620408.0 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN112827930A | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | 孙晓东 | 申请（专利权）人： | 上海讯颖电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/10 | 分类号： | B08B3/10;B08B3/04;B08B3/14;B08B1/04;B08B1/00;B08B13/00;F26B21/00 |
| 代理公司： | 上海微策知识产权代理事务所(普通合伙) 31333 | 代理人： | 张静 |
| 地址： | 202150 上海市崇明区长兴镇潘园公*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种半导体加工用清洗装置，包括底座、烘干箱和固定盒，所述底座的顶部安装有烘干箱，所述烘干箱的一侧安装有出风口，所述烘干箱的另一侧安装有固定盒，且固定盒的一侧贯穿烘干箱的内壁，所述底座的顶部安装有固定杆，所述固定杆的顶部安装有连接杆，所述连接杆的一侧安装有安装架，所述安装架的内部安装有第一电机，所述第一电机的输出端安装有第一旋转轴，所述第一旋转轴的一端安装有清洗仓，所述清洗仓的一侧安装有第二旋转轴，所述第二旋转轴的一端安装有安装板。本发明通过在底座的顶部安装有烘干装置，可以使烘干箱内的半导体进行烘干，从而可以使半导体可以更加快速的将水分烘干，从而可以提高工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 工用 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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